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超声扫描显微镜正面
超声显微镜-声学扫描显微镜-超声无损显微镜-超声扫描显微镜S500

超声C扫描S500

和伍智造超声扫描显微镜系列S500这款设备是半导体行业等产品缺陷检测的专用款,主要利用高频超声波,对水冷板散热器内部质量、焊接工艺进行检测,能够检测出样品内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷,并以图形的方式直观展示。
产品介绍
产品概述:

超声扫描显微镜(SAT)是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备,主要利用高频超声波,对各类半导体器件、材料进行检测,能够检测出样品内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷,并以图形的方式直观展示。在扫描过程中,不会对样品造成损伤,不会影响样品性能,可有效满足新能源、半导体、电力电子、热管理材料、金刚石复合材料、碳纤维复合材料等行业需求。


产品特点:

1、 具备A(点扫描)、B(纵向扫描)、C(横向扫描)、透射扫描(需配置透射扫描单元及接收探头选项)、多层扫描、Tray-托盘扫描,厚度测量等系列扫描模式。

2、 具备定量测分析功能,以图像方式直观显示被测件内部缺陷的位置、形状和大小,并进行缺陷的尺寸和面积统计,自动计算缺陷占所测量面积的百分比;具备缺陷尺寸标识;厚度与测距等功能。

3、 具备图像着色功能,可根据相位翻转自动着色;可根据灰度等级手动着色;可根据厚度变化,自动着色;

4、 适用于单个器件的快速扫描分析,也可批量放置样品同步进行缺陷识别,快速筛选出不合格品。

5、 可兼容1~110MHz的超声探头。

6、 检测软件自主研发,中英文界面,可根据客户需求对功能进行持续升级。


产品参数

  序号 

机电特性

规格型号

1

整机尺寸

  750mm×700mm×1350mm 

2

水槽尺寸

350mm×220mm×120mm

3

  有效扫描范围 

230mm×70mm×50mm

4

  最大扫描速度 

300mm/s

5

超声探头

  可兼容1~110MHz的超声探头。 

6

图像推荐分辨率

1~4000um

7

重复定位精度

X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm

 

产品主要配置

序号

名称

规格

1

扫描系统

XY轴:伺服电机驱动;Z轴:步进电机驱动;自动推杆系统:步进电机驱动;

2

水槽

350mm×220mm × 120 mm

3

超声发射、接收器

带宽1-65MHz

4

高速数据采集卡

采样频率 500MHz

5

超声探头

15MHz0.75in探头一颗,50MHz0.5in探头一颗,透射模组一套;

6

工控机

I5代处理器,32GB 内存,1T硬盘,Windows 10-64 位操作系统

7

显示器

21.5"液晶显示器两个

8

检测软件

Hiwave水浸超声快速检测软件V1.0


行业应用:

适用于塑封IC、光电器件、微波功率器件、MEMS器件、倒装芯片、堆叠Stacked Die、MCM多芯片模块、金刚石复合片、电器焊接件、陶瓷材料等领域的缺陷分析。


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